SMC防爆型3/5通電磁閥 50-VFE/50-VPE
彈性密封
系列有效截面積mm2 (Cv)消耗功率 (W)
50-VFE3000 5通18 (1.0)3.5
50-VFE5000 45 (2.5)
50-VPE500 3通41.4 (2.3)
50-VPE700 72 (4)
特長
SMC防爆型3/5通電磁閥 50-VFE/50-VPE防爆規(guī)格
符合標(biāo)準(zhǔn)(IEC標(biāo)準(zhǔn))。
防水性:符合JISF8001第3種散水試驗。
無需考慮先導(dǎo)閥排氣設(shè)備。
(主閥、先導(dǎo)閥共同排氣型[50-VFE3000])
可以集裝化(50-VEF)
可作為選擇閥、分流閥使用,也可用于真空環(huán)境。 (50-VPE)
問囊括的r t y u
XLA 16 M9N一個
M9N(L)(M)(Z)
M9P(L)(M)(Z)
M9B(L)(M)(Z)
前(L)
A93(L)
汽車開關(guān)模型
D-M9N(L)(M)(Z)
D-M9P(L)(M)(Z)
D-M9B(L)(M)(Z)
D-A90(L)
D-A93(L)
沒有汽車開關(guān)(沒有內(nèi)建的磁鐵)
固態(tài)自動開關(guān)
沒有汽車開關(guān)(帶內(nèi)置磁鐵)
里德汽車開關(guān)(并不適用
法蘭尺寸16)
汽車開關(guān)類型t
西北)滴定(
凱西(DN)
適用法蘭
16日、25名、40名,50歲,63歲,80
63,80
w法蘭連接式
高真空角閥
正常關(guān)閉/波紋管密封
問法蘭尺寸
y數(shù)量的汽車開關(guān)/安裝的位置
沒有汽車開關(guān)
安裝的位置
閥門開啟和關(guān)閉
開啟閥門
閥門處于關(guān)閉狀態(tài)
r溫度規(guī)格/加熱器
溫度
5到60°C
5到150°C
加熱器
用100°C加熱器
加熱器和120°C
你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分
與 8226;密封材料
密封材料
FKM
三元乙丙橡膠(EPDM)
面額8727;產(chǎn)生了三菱電纜行業(yè),垂詢。
面額8226;身體表面處理
表面處理
外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:原材料
外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:草酸陽極氧化
桶Perfluoro& # 174;是一個注冊商標(biāo)的Matsumura石油有限公司。
Kalrez&;是一個注冊商標(biāo)的杜邦公司績效彈性體。
Chemraz&;是一個注冊商標(biāo)的格林,斜紋軟呢和股份有限公司。
ARMOR& ULTIC;注冊商標(biāo)是日本Valqua行業(yè),有限公司。
注)尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
艾凡指標(biāo)/飛行員港口方向
汽車開關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格
(溫度規(guī)格,H2,H3 H0)。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長度是0.5米。
加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時,“m”時,可達(dá)1米
“Z”當(dāng)5米。
例)-M9NL
與# 8226;密封材料改變部分和泄漏
泄漏(Pa·立方米/秒或更少)注1)
訂購的是別的東西,而不是“零”(標(biāo)準(zhǔn)),列表的符號開始
以“X”,緊隨其后的是每個符號為“身體表面處理,”
“密封材料”,再選擇“改變分離。”
例)XLA-16-M9NA-XAN1A
注1)值在常溫下,不含氣體滲透。
注2),是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分14頁。
部件號碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。
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| 系列/CAD | 動作方式 | 軸密封形式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭尺寸 | XLA | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: 鋁合金 波紋管: SUS316L | 16~80 | XLAV (帶電磁閥) | XLC | 雙作用 | XLCV (帶電磁閥) | XLF | O形圈密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: 鋁合金 | 16~160 | XLFV (帶電磁閥) | XLG | 雙作用 | 16~80 | XLGV (帶電磁閥) | XLD | 波紋管? O形圈密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: 鋁合金 波紋管: SUS316L | 25~80 | XLDV (帶電磁閥) | XLH | 手動 | 波紋管密封 | 手動 | 閥體: 鋁合金 波紋管: SUS316L | 16~50 | XLS | 電磁式 | 波紋管壓力平衡 | 單作用 (N.C.) | 16, 25 | 特長 | - 抗氟腐蝕能力強(qiáng)。
- 放出氣體少。
- 重金屬污染少。
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| 系列/CAD | 動作方式 | 軸密封形式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭尺寸 | XLAQ | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: 鋁 波紋管: SUS316L | 16~50 | XLDQ | 波紋管密封 O形圈密封 | 40,50 | 特長 | | |
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注)對直通型無尺寸16的閥。 | 系列/CAD (L型/直通型) | 動作方式 | 軸密封方式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭尺寸 | XMA/XYA | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: SCS13 (相當(dāng)SUS304) 波紋管: SUS316L | 16~80注) | XMC/XYC | 雙作用 | XMD/XYD | 波紋管 O型圈密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: SCS13 (相當(dāng)SUS304) 波紋管: SUS316L | 25~80 | XMH/XYH | 手動 | 波紋管密封 | 手動 | 閥體: SCS13 (相當(dāng)SUS304) 波紋管: SUS316L | 16~50注) | 特長 | - 采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu),無氣體滯留。
- 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)
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| 系列 | 磁性開關(guān)種類 | 內(nèi)容 | D Series | 有觸點(diǎn)的磁性開關(guān) | 一般 (通用型) | 無觸點(diǎn)的磁性開關(guān) | 一般 (通用型) | |
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| 系列/CAD | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 | XVD | 常斷 (加壓通/彈簧密封) | 氮?dú)狻⒖諝?、惰性氣體等 | VCR® Swagelok® | 1/4B | 特長 | - 閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
- (閥芯)座部分采用間隙隔膜,微粒子數(shù)量大幅降低。
- 伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。
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| 系列/CAD | 使用壓力范圍 (Pa) | 使用流體 | 門尺寸 (高×寬) (mm) | 動作壓力 (MPa) | XGT | 大氣壓~1×10-6 | 惰性氣體系的真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45~0.6 | 特長 | - 對于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。
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| 系列/CAD | 使用環(huán)境壓力{Pa (ABS)} | 缸徑 (mm) | CYV | 大氣~1.3×10-4 | 15,32 | 特長 | - 真空環(huán)境內(nèi) (1.3×10-4Pa) 在搬運(yùn)場合可以使用的氣缸。
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